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단체표준 예고현황

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단체표준 상세
단체표준 상세
표준번호 SPS-L KICET 0017-7501 처리상태 완료
구분 제정 분야 화학분야
표준명(국문) 반도체 정전척용 접착제의 접착력 시험방법
표준명(영문) Testing methods for bonding strength of adhesive for semiconductor electrostatic chuck
단체명 한국세라믹기술원
표준담당자명 최기인 담당자 연락처 032-210-5107
페이지수 10 담당자 이메일 kichoi@kicet.re.kr
예고기간 2021-09-16 ~ 2021-10-15 심의일 2022-02-08
최초제정일 2022-06-08 최종개정일
최종확인일 등록 폐지일
적용범위 이 표준은 세라믹과 금속 부품의 이종소재로 구성된 판상형 반도체 정전척용 접착제의 접착력 시험방법에 대하여 규정한다.
기타 표준번호 변경(7/9) 요청에 따라 다시 작업된 표준임
키워드 정전 척, 접착제, 접착강도, electrostatic chuck, bond, bonding strength
KS이관여부 아니오 KS표준번호
예고용 표준 초안(워드/한글) 2. 단체표준 제정안 (SPS-L KICET 0017).DOCX
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